實(shí)踐證明深紫外光刻工藝深受多種類微量污染物的影響，對(duì)很多微量污染物極為敏感，比如氨氣或者酸性氣體都會(huì)給半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來危害，盡管隨著深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展，已經(jīng)減少了長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，而實(shí)際上AMC空氣分析儀對(duì)空氣分子污染（AMC）的實(shí)時(shí)測(cè)量對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的好壞至關(guān)重要。
 

　　

　　AMC空氣分析儀也集成了多點(diǎn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，可依序?qū)怏w抽送到分析儀或傳感器，并讀出測(cè)量結(jié)果。獵戶座3100S內(nèi)嵌的報(bào)警、報(bào)告、分析軟件是由多年半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的工程師集體開發(fā)。模擬模塊可以輸出來自4~6臺(tái)分析儀或傳感器的數(shù)據(jù)。每臺(tái)分析儀配有內(nèi)置計(jì)算機(jī)，可進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)輸出，還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制，通過互聯(lián)網(wǎng)可以連接經(jīng)銷商服務(wù)商進(jìn)行操作或者診斷。使用者可以通過網(wǎng)絡(luò)瀏覽器比如IE、Chrome等世界任意可以聯(lián)網(wǎng)的地方進(jìn)行操作，遠(yuǎn)程操作可實(shí)現(xiàn)多級(jí)管理權(quán)限控制和操作。

　　

　　儀器基于CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)，極簡(jiǎn)使用、便捷操作，所有部件（包括內(nèi)置真空泵、鍵盤、鼠標(biāo)、顯示器等）幾分鐘內(nèi)可開始記錄數(shù)據(jù)，其他大氣中的水汽、CO2、O2、甲烷等不會(huì)對(duì)HCL、HF、NH3等測(cè)量構(gòu)成交叉干擾。內(nèi)置計(jì)算機(jī)可logo2以存儲(chǔ)大量數(shù)據(jù)到內(nèi)置硬盤上，可同過數(shù)字接口或者模擬接口傳輸數(shù)據(jù)，可通過互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程存儲(chǔ)或記錄數(shù)據(jù)，高質(zhì)量的數(shù)據(jù)庫，適合于苛刻的半導(dǎo)體痕量級(jí)氣體應(yīng)用。

　　

　　AMC空氣分析儀基于CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)的儀器原理圖，使用近紅外波段光進(jìn)行高靈敏度吸收測(cè)量，測(cè)量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構(gòu)成，激光束經(jīng)過固態(tài)校準(zhǔn)器時(shí)會(huì)測(cè)量得到相對(duì)激光波長(zhǎng)。為了保證清晰度，忽略了原本照射到左側(cè)測(cè)量單元腔鏡外的光束。